用 途: 該設(shè)備是加工晶棒參考邊(OF面)時(shí)定向的專用儀器,是外圓滾磨機(jī)床后道工序的配套設(shè)備,將外圓滾磨機(jī)磨好的晶棒放在該儀器上進(jìn)行定向;然后到平面磨床上磨參考面;其定向角度是固定式,客戶可根據(jù)自己的晶體材料選擇不同晶體的角度,如;藍(lán)寶石A、R面;硅、砷化稼、鍺(110)面等晶體的角度。(訂貨時(shí)晶向角度可自選) 特點(diǎn): 此設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高,一臺(tái)設(shè)備的定向、能滿足多臺(tái)平面磨床的使用。標(biāo)準(zhǔn)配置2、4英寸夾具各一套。(訂貨時(shí)夾具尺寸可以選配) 方 法: 把滾磨機(jī)床磨好的晶棒放到 V型槽專用夾具中,放到工作臺(tái)上,使定向頭慢慢向下移動(dòng)直至碰到晶棒為止,打開(kāi)射線光閘測(cè)量其晶向,然后慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒找到參考邊方向,反復(fù)幾次準(zhǔn)確的找到角度最大值;然后將夾具鎖緊,連同V型槽專用夾具一同放到平面磨機(jī)床上,磨出參考邊。
主要技術(shù)參數(shù):
X 射線管 |
銅靶,陽(yáng)極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
管 電 壓 |
30KVP、全壓合閘 |
管 電 流 |
0-5mA、連續(xù)可調(diào) |
電源輸入 |
單相交流220V 、50HZ、 0.5KW |
測(cè)量角度 |
固定式藍(lán)寶石A向18°55′ |
計(jì) 數(shù) 管 |
蓋革、電壓DC700---1200V |
時(shí)間常數(shù) |
0.1、0.4、3秒;3檔可調(diào) |
X窗口控制 |
電 磁 光 閘 |
測(cè)晶棒重量 |
20Kg晶棒 |
測(cè)晶棒直徑;長(zhǎng)度 |
直徑2--4英寸、長(zhǎng)50-300 mm |
V槽夾具 |
標(biāo)準(zhǔn)配置、直徑2、4、英寸 |
外形尺寸 |
長(zhǎng)1140×寬650×高1700 |
儀器重量 |
150KG | |