|
針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設(shè)計，此儀器為雙工作位。
標(biāo)準(zhǔn)配置如下：GA, GC測角儀。
1、一側(cè)用于測3--8英寸晶圓片111、100面，還可測晶棒參考面（110）等角度。
2、另一側(cè)用于測直徑5----8英寸，長800mm晶棒（111、100）晶面等角度。
主要參數(shù)：
|
項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
|
晶棒直徑 |
5---8英寸、最大11寸 |
|
晶棒長度 |
800 mm |
|
樣品板面積 |
43寬×112高mm |
|
定向精度 |
±30″ |
|
數(shù)顯方式 |
θ：度；分；秒；最小讀數(shù)10″ |
|
顯示器 |
外置立式 |
|
技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù)。 |
|
尺 寸 |
1210×810×1420 mm | |
