YX-9型藍(lán)寶石定向粘接設(shè)備,主要是針對(duì)未切片前的藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行定向與粘接,儀器利用專門(mén)設(shè)計(jì)的夾具對(duì)晶棒進(jìn)行X軸與Y軸的調(diào)整,將晶棒偏離的角度定向校準(zhǔn)后與料板進(jìn)行粘接,顯示器為外置式,樣品托板加裝高精度稱重直線軌道,可測(cè)量直徑2-6英寸,長(zhǎng)50-260mm的晶棒。
技術(shù)參數(shù):
X 射線管 |
銅靶,陽(yáng)極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
管 電 壓 |
30KVP,全壓合閘 |
管 電 流 |
0-5mA,連續(xù)可調(diào) |
電源輸入 |
交流220V 不大于0.3KW |
綜合精度 |
±30″ |
角度數(shù)字顯示 |
θ:度、分、秒顯示,最小讀數(shù)10″ |
計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度 |
2θ角-10°-----+120° |
樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度 |
θ角-10°-----+60° |
計(jì) 數(shù) 管 |
蓋革計(jì)數(shù)管,工作電壓700---1200V |
時(shí) 間 常 數(shù) |
0.1、0.4、3秒;3檔可調(diào) |
保 護(hù) |
高壓連鎖保護(hù),溫度保護(hù) |
狹 縫 |
4′、5′、6′ |
測(cè)晶體重量 |
最重30KG的晶棒 |
測(cè)晶體直徑 |
一側(cè)Φ2-------Φ6英寸晶圓片、晶棒 |
測(cè)晶棒長(zhǎng)度 |
另一側(cè)Φ2-------Φ4英寸,260毫米長(zhǎng)晶棒 |
工 作 位 |
雙測(cè)角儀、雙工作臺(tái) |
外型尺寸 |
1140×650×1030mm |
儀器重量 |
250KG | |