YX-5A高精度藍寶石晶體定向儀:是在YX-2D6A定向儀基礎(chǔ)上升級產(chǎn)品,配置單色器,數(shù)字顯示為6位,最小讀數(shù)1″,精度±15″針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,操作方便,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道,屬于通用熱銷機型。 標(biāo)準(zhǔn)配置如下:GA, GB測角儀 1、一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測晶棒參考面110;OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。 2, 另一側(cè)GB專為晶棒設(shè)計,設(shè)計為寬130,長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托,能測Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ;如:硅(111)(100)藍寶石C面等角度;第一個測2---3英寸端面,第二個測4---6英寸端面。
主要參數(shù):
項 目 |
參 數(shù) |
晶棒直徑 |
2---6英寸、最大8寸 |
晶棒長度 |
400 mm |
樣品板面積 |
43寬×70高mm |
衍射方式 |
前置 單色器, |
定向精度 |
±15″ |
數(shù)顯方式 |
θ:度、分、秒; |
數(shù)顯單位 |
6位顯示 ;最小讀數(shù)1″ |
顯示器 |
立式外置 |
技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù)。 | |