用途:該儀器專門用于硅單晶棒定向測量,與我公司生產(chǎn)的YX-5Z\6Z及多線切割設(shè)備配套使用,最大特點是,測量晶向后直接計算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角,X和Y值,并對偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計算出偏晶向的角度值。 結(jié)構(gòu):該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強度表等組成。計算軟件采用國際通常算法,以度為單位,顯示最小精度0.001度,測量精度±0.008度(±30〃),能夠測量直徑3~12英寸,長500㎜,測量晶面為111、100等。 型號: YX-6D為單測角儀,定向計算。 YX-6DA為單測角儀,定向計算,全封閉防護(hù)罩。
主要參數(shù):
電 源 |
220V 50HZ |
功 率 |
0.5KV |
管 電 壓 |
30KVP |
管 電 流 |
0-5mA |
晶棒直徑 |
3~12英寸 |
晶棒長度 |
500㎜ |
測量晶向 |
111、100 |
定向精度 |
0.008度(±30″) |
角度顯示 |
以度為單位、最小讀數(shù)0.001度 |
射線窗口 |
腳踏電磁光閘 |
計算角度 |
α與β(X與Y) |
尺 寸 |
長830×寬950×高120 |
重 量 |
260㎏ | |