YX-2D6A藍(lán)寶石晶體定向儀:是在標(biāo)準(zhǔn)定向儀基礎(chǔ)上,針對(duì)單晶硅、藍(lán)寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計(jì),主要用于晶圓片、晶棒的測(cè)量,顯示器為外置式,樣品臺(tái)加裝承重軌道.屬于通用型。
標(biāo)準(zhǔn)配置如下:GA, GB測(cè)角儀。 1、一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測(cè)晶棒參考面110;OF等角度。藍(lán)寶石A,C,R面等角度. 2、另一側(cè)GB專(zhuān)為晶棒設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)為寬130,長(zhǎng)300平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托,能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測(cè)晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長(zhǎng)400晶棒 ;如:硅(111)藍(lán)寶石C面等角度;第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面,第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面.
主要參數(shù):
項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
晶棒直徑 |
2---6英寸、最大8寸 |
晶棒長(zhǎng)度 |
400 mm |
樣品板面積 |
43寬×70高mm |
定向精度 |
±30″ |
數(shù)顯方式 |
θ:度;分;秒;最小讀數(shù)10″ |
顯示器 |
外置立式 |
技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù)。 |
兩邊測(cè)角儀客戶(hù)也可根據(jù)本公司晶體尺寸、形狀選配不同型號(hào)測(cè)角儀,請(qǐng)參考我公司的G系列測(cè)角儀(GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH)的型號(hào)選購(gòu)配置。
YX-2D6A 通用型(GA+GB適用晶圓片、晶棒) 1,一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅(111)藍(lán)寶石C等角度;同時(shí)能測(cè)晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。 2,另一側(cè)GB專(zhuān)為晶棒設(shè)計(jì),配有寬130㎜,長(zhǎng)300㎜平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型晶棒托,能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片;同時(shí)能測(cè)Φ2---Φ6英寸, 長(zhǎng)400㎜晶棒端面 ;如硅:(111)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度。第一個(gè)測(cè)2---3英寸,第二個(gè)測(cè)4---6英。 | |
YX-2D6B (GA+GC適用晶圓片、大晶棒) 1,一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅(111)藍(lán)寶石C等角度;同時(shí)能測(cè)晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。 2, 另一側(cè)GC測(cè)角儀能測(cè)晶棒端面,測(cè)量時(shí)可通過(guò)改變滾杠寬度達(dá)到測(cè)量Φ2---Φ6英寸,長(zhǎng)400㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度。同時(shí)也能測(cè)晶圓片。 | |
YX-2D6C (GA+GD適用晶圓片、晶圓片參考面) 1, 一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片,如硅:(111;100)藍(lán)寶石A,C,R面等其它晶體的角度。 2, 另一側(cè)GD測(cè)角儀能測(cè),晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面。如硅:(110 )藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。 | |
YX-2D6D (GB+GF適用晶棒,籽晶條) 1, 一側(cè)GB測(cè)角儀能測(cè)晶圓片;能測(cè)Φ4---Φ6英寸, 長(zhǎng)400㎜晶棒端面,如硅:(111)藍(lán)寶石,C,R面等其它晶體的角度。 2, 另一側(cè)GF測(cè)角儀配置一個(gè)高度可調(diào)籽晶測(cè)試架,測(cè)Φ5—20㎜圓或方型,長(zhǎng)150㎜籽晶端面, 如硅:(111)藍(lán)寶石C 面等其它晶體的角度。 | |
YX-2D6E (GD+GK適用晶片參考面,正負(fù)6°±15°角) 1, 一側(cè)GD測(cè)角儀能測(cè),晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面,如:硅(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。 2,另一側(cè)GK測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過(guò)改變樣品板墊塊傾斜角±6°,±8°±15°度位置,來(lái)測(cè)晶圓片角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。 | |
YX-2D6F (GE+GD適用晶圓片、園片參考面) 1,一側(cè)GE測(cè)角儀專(zhuān)為測(cè)大直徑晶圓片而設(shè)計(jì),測(cè)直徑2--8英寸的晶圓片,高400㎜晶棒,如硅:(110)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度,樣品板有10×10㎜方格,用于晶圓片2點(diǎn)180°和4點(diǎn)90°的測(cè)試。 2,另一側(cè)GD測(cè)角儀能測(cè)、晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面,如硅:(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。 | |
YX-2D6G (GD+GH適用晶片參考面,正負(fù)園片±6°角) 1,一側(cè)GD測(cè)角儀能測(cè),晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面。如硅:(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。 2,另一側(cè)GH測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過(guò)旋轉(zhuǎn)90°度,改變樣品板傾斜角±6°度位置來(lái)測(cè)晶圓片的角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。 | |
YX-2D6H (GL+GC適用晶圓片、大晶棒) 1,一側(cè)GL測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅:(111)藍(lán)寶石C等角度;同時(shí)立測(cè)能測(cè)晶棒參考面或OF,并有垂直參考尺,便于劃線(xiàn)加工磨參考面,如硅:(110)面等其它晶體的角度。 2, 另一側(cè)GC測(cè)角儀能測(cè)晶棒端面,測(cè)量時(shí)可通過(guò)改變滾杠寬度達(dá)到測(cè)量Φ2---Φ6英寸,長(zhǎng)400㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度。同時(shí)也能測(cè)晶圓片。 | |
說(shuō)明:上述型號(hào)的配置也可以用在YX-2H8機(jī)型框架上?筛鶕(jù)客戶(hù)的要求設(shè)計(jì)加工特殊工作臺(tái),請(qǐng)來(lái)電咨詢(xún),我們將熱情為您回復(fù)。
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