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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-6FX射線晶體復(fù)檢儀

用途:將粘接好的晶棒,連同料板一同拿到Y(jié)X-6F定向儀上,料板底部靠在測角儀的基準(zhǔn)面上,打開光閘進(jìn)行復(fù)檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進(jìn)行X軸的復(fù)檢測量,測量后的結(jié)果可與YX-6D的打印結(jié)果進(jìn)行對照,如有差異,可將晶棒從料板取下,重新粘接,大大保證了切割前晶棒的粘接精度。

技術(shù)參數(shù):

X射 線 管

銅靶,陽極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷

管 電 壓

30KVP,全壓合閘

管 電 流

0---5mA,連續(xù)可調(diào)

整 機(jī) 功 率

不大于0.3KW

定 向 精 度

±30″

蝸輪運(yùn)動誤差

不大于30″

計(jì)數(shù)器轉(zhuǎn)角度

-10°------+100°

樣品轉(zhuǎn)角度

-10°------+50°

計(jì) 數(shù) 管

蓋革管,電壓600-----1100V

時間常 數(shù)

分0.1、0.4、3秒三檔可調(diào)

保 護(hù)

高壓連鎖保護(hù),溫度保護(hù)

狹 縫

4′、5′、6′

外 型 尺 寸

1200mm×650mm×1100mm

儀 器 重 量

250KG

測樣品直徑

硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片;

測晶棒長度

硅單晶 Φ3—8英寸;500毫米長晶棒

 

 

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